哈囉！各位觀眾們，有沒有把小編給忘記了呢！ 
很抱歉，小編因為職務的關係，稍稍停滯了一段時間，
不過愛教學的小編現在回來囉！
那我們就延續先前的課題，繼續往下做深入教學吧！
繼先前介紹的熱處理外及表面處理外，
本週小編也帶來了與我們相關的加工技術介紹，
小編相信依大家的聰明才智，
應該都可以吸收了不少才對！
那不囉說，我們直接切入主題吧！
本週我們就來談談最常碰到的「研磨」加工吧！
什麼是「研磨」？
#基於機械作用的超精密研磨方法:
基於機械作用的超精密研磨拋光方法是依靠微細磨粒的
械作用對被加工表面進行微量去除，達到高精度的加工表
面。
# 基於機械化學作用的超精密研磨方法:
機械化學研磨是在微粉粒子的撞擊和研磨液的化學作用
產生研磨作用，去除工件表面的微量材料。
使用ELID研磨法之平面磨床示意圖 ELID研磨時之砂輪表面狀態示意圖
化學機械研磨
—CMP 指化學機械研磨 (Chemical Mechanical Polishing)，或稱為化學機械平坦化
(Chemical Mechanical Planarization)。
—CMP 是在研磨機的研磨墊(PU Pad)上注入研磨漿料(Slurry)進行研磨晶圓的動作，目的是將積體電路晶圓
(IC Wafer)上的介電層(oxide layer)與金屬層(metal layer)磨平，使其全面平坦化進而達到立體佈線或者
多層佈線，提升配線密度(pattern density)，同時降低缺陷密度(defect density)，提升製程良率。
化 學 機 械 研 磨 示 意 圖
超音波震動研磨
—超音波震動工具頭的端面與工件表面保持一固定的間隙δ，並在其間充以微細磨粒工作液，當超音波振動工具
以一定的頻率振動時，帶動微細磨粒衝擊工件表面，從而對工件表面進行研磨。
超 音 波 震 動 研 磨 示 意 圖
異形電極式超音波研磨為利用異形電極，搭配由平均粒徑1μm的氧化鋁磨粒混合黏度為SAE30之調製而成的
研磨磨料，來進行加工。
螺旋電極式超音波研磨
當右螺旋電極順時針旋轉時，螺旋溝槽會帶動黏彈性磨料進入微孔內，因此置於工件底部的磨料將由微孔出口進入，
通過微孔後排出，使磨料十分順利的存在於間隙中，而為了讓過程更順暢，以矽油、腊油與高分子膠液等油酯，
添加5μm的SiC磨粒調製而黏彈性磨料，因黏彈性磨料如同果凍般為半固體狀態，比液態磨料更容易被帶動，
不僅加速了磨料的更替，亦提升了研磨效果。
呼~是不是想不到，小編沉寂了這麼久，結果一回歸，就介紹了那麼多東西啊！
不過小編完全不擔心大家喲！
小編相信大家都是聰明的孩子，一定能好好吸收成為自己知識的一部分。 
好啦！那小編就不打擾大家學習的時間，我們下回再見囉！掰掰
訊息參考出處：http://www2.kuas.edu.tw/edu/chhsu1234/05.ppt
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