哈囉!各位觀眾們,有沒有把小編給忘記了呢! 1775465362.gif

很抱歉,小編因為職務的關係,稍稍停滯了一段時間,

不過愛教學的小編現在回來囉! 

那我們就延續先前的課題,繼續往下做深入教學吧!1133770376.gif

繼先前介紹的熱處理外及表面處理外,

本週小編也帶來了與我們相關的加工技術介紹,

小編相信依大家的聰明才智,

應該都可以吸收了不少才對!

1775465333.gif 1775465333.gif 1775465333.gif

 

那不囉說,我們直接切入主題吧!

本週我們就來談談最常碰到的「研磨」加工吧!

 

什麼是「研磨」?

—研磨是使工件產生平滑鏡面的超精密研磨技術,其目的在於使表面粗糙度及平坦度到達一定的可容許範圍,
常被廣泛的使用在硬脆金屬、陶瓷、玻璃及晶圓等材料表面的精密加工。
 
精密研磨方法有哪些?

#基於機械作用的超精密研磨方法:

  基於機械作用的超精密研磨拋光方法是依靠微細磨粒的

  械作用對被加工表面進行微量去除,達到高精度的加工表

  面。

—機械研磨、彈性發射加工浮動研磨磁力研磨電解磁力研磨、 ELID研磨

# 基於機械化學作用的超精密研磨方法:

  機械化學研磨是在微粉粒子的撞擊和研磨液的化學作用

  產生研磨作用,去除工件表面的微量材料。

—化學機械研磨
—超音波振動研磨
是不是想像不到,研磨居然還分那麼多種方式呢!        1775465275.gif  
小編收集資料發現的時候,也深感意外呢!
好了,緊接著再為大家深入說明各項加工方式吧!
 
彈性發射加工(EEM) 
—加工時使用聚氨脂球作加工頭,在高速旋轉的加工頭與被加工工件表面之間加上含有微細磨粒(0.10.01μm
的研磨液,並產生一定的壓力。通過高速旋轉的加工頭所產生的高速氣流及離心力,使磨粒衝擊或擦過工件表面,
產生彈性破壞物質的原子結合,從而去除工件表面的材料。
                                          彈 性 發 射 加 工 示 意 圖
 
浮動研磨 
—它利用流體力學原理使拋光器與工件浮離,在拋光器的工件表面做出了若干楔槽,當拋光器高速旋轉時,
由於油楔的動壓作用使工件或拋光器浮起,其間的磨粒就對工件表面進行拋光。
                        浮 動 研 磨 加 工 示 意 圖
 
磁力研磨 
—磁力研磨是利用磁場將磁性磨料聚集在工件與磁極間之工作間隙內,這些聚集的磁性磨料在磁場的作用下
形成一束撓性的磁力刷(magnetic brush),同時產生研磨壓力作用在工件表面上,再藉由工件的旋轉與
軸向振動,使磁性磨粒與工件表面之間產生相對運動,而達到精密拋光的效果。
 
中場休息,喝杯茶,喘口氣,
再接再厲,努力學習吧!  
        1775465315.gif  1775465298.gif         1775465315.gif  1775465298.gif         1775465315.gif  1775465298.gif
 
電解磁力研磨
—電流電壓的陽極接工件,陰極接工具,陰極接欲去除毛刺的工件部位。電解液由泵驅動後經陰極流過陽極
工件的毛刺部位到達回流槽。工件以一定的速度旋轉,同時作軸向振動。在垂直於工件軸線及電力線的平面
方向上加直流強磁場,在磁場中填入游離狀的磁性磨料,由磁磨料組成的“磨料刷”快速衝擊件表面,
去除突起的毛刺和實現光整加工。
                                     電 解 磨 削 原 理 示 意 圖
 
製程中電解削銳(Electrolytic In-Process Dressing,ELID) 
—電子零件等功能材料之進步是有目共睹的,但對於各種素材零件之加工精度要求則是愈來愈嚴格。
其加工技巧之磨料加工技術的研磨、拋光方面,對於高效率、高精度、高品位、超精密、
自動化等之期望也很高,滿足其要求的加工技術之一為ELID研磨法。 
—  ELID研磨法為金屬結合砂輪的削銳方法之一,利用電氣化學作用所產生之電解溶出現象,
在研磨加工中也可以連續地進行削銳,以保持穩定的銳利度。
                                                           製 程 中 電 解 削 銳 示 意 圖
                    

 使用ELID研磨法之平面磨床示意圖                                                                                                                            ELID研磨時之砂輪表面狀態示意圖

 

化學機械研磨 

—CMP 指化學機械研磨 (Chemical Mechanical Polishing),或稱為化學機械平坦化

(Chemical Mechanical Planarization)

—CMP 是在研磨機的研磨墊(PU Pad)上注入研磨漿料(Slurry)進行研磨晶圓的動作,目的是將積體電路晶圓

(IC Wafer)上的介電層(oxide layer)與金屬層(metal layer)磨平,使其全面平坦化進而達到立體佈線或者

多層佈線,提升配線密度(pattern density)同時降低缺陷密度(defect density),提升製程良率。

                                            化 學 機 械 研 磨 示 意 圖

超音波震動研磨 

—音波震動工具頭的端面與工件表面保持一固定的間隙δ,並在其間充以微細磨粒工作液,當超音波振動工具

以一定的頻率振動時,帶動微細磨粒衝擊工件表面,從而對工件表面進行研磨。

              超 音 波 震 動 研 磨 示 意 圖

異形電極式超音波研磨

異形電極式超音波研磨為利用異形電極,搭配由平均粒徑1μm的氧化鋁磨粒混合黏度為SAE30之調製而成的

研磨磨料,來進行加工。

 

螺旋電極式超音波研磨

當右螺旋電極順時針旋轉時,螺旋溝槽會帶動黏彈性磨料進入微孔內,因此置於工件底部的磨料將由微孔出口進入,

通過微孔後排出,使磨料十分順利的存在於間隙中,而為了讓過程更順暢,以矽油、腊油與高分子膠液等油酯,

添加5μmSiC磨粒調製而黏彈性磨料,因黏彈性磨料如同果凍般為半固體狀態,比液態磨料更容易被帶動,

不僅加速了磨料的更替,亦提升了研磨效果。

 

呼~是不是想不到,小編沉寂了這麼久,結果一回歸,就介紹了那麼多東西啊!

不過小編完全不擔心大家喲!小編相信大家都是聰明的孩子,一定能好好吸收成為自己知識的一部分。 1775465299.gif

好啦!那小編就不打擾大家學習的時間,我們下回再見囉!掰掰

 

訊息參考出處:http://www2.kuas.edu.tw/edu/chhsu1234/05.ppt

arrow
arrow

    huangliang 發表在 痞客邦 留言(0) 人氣()